一种陶瓷基薄膜电路产品的集成方法

本发明涉及半导体处理技术领域，具体涉及一种陶瓷基薄膜电路产品的集成方法，该方法包括：获取刻蚀矩阵；获取各行数据的分形维数序列，构建异常指数；将各行数据转换为频域信号，进行分区式分析，构建局部异质评估参数；对不同种类的各时刻的数据的协同变化进行分析构建局部一致性参数，结合相似性构建协同因子；对PID控制的微分系数进行改进；实现对离子束能量的调控。本发明旨在克服电镀薄膜表面的异质性和参数的连锁变化而产生的震荡和不稳定，提高离子束能量的调控精确度，保障新型陶瓷基薄膜电路产品的集成质量。