一种陶瓷基板的制作方法、陶瓷基板和功率模块

本发明涉及功率模块技术领域，尤其涉及一种陶瓷基板的制作方法、陶瓷基板和功率模块，该方法包括：提供陶瓷基片、第一金属片和第二金属片；在第二金属片的第一面形成微沟槽冷却腔体，在第二面形成与微沟槽冷却腔体连通的注射机构，得到加工后的第二金属片；在陶瓷基片之下形成第一金属片，在其上形成加工后的第二金属片，加工后的第二金属片的第一面与陶瓷层相接触，形成半成品功能区；通过注射机构向微沟槽冷却腔体注入工质后对注射机构封口，使半成品功能区形成功能区，通过工质和微沟槽冷却腔体形成脉动热管，对陶瓷基板进行散热；在加工后的第二金属片之上形成辅助区。该方法形成高散热效率的陶瓷基板，提高功率芯片和功率模块的散热效率。