一种64通道压力扫描阀用滑块及扫描阀

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一种64通道压力扫描阀用滑块及扫描阀
申请号:CN202510843542
申请日期:2025-06-23
公开号:CN120369191A
公开日期:2025-07-25
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种64通道压力扫描阀用滑块及扫描阀,涉及压力测量技术领域,所述64通道压力扫描阀用滑块包括测量系统和吹扫系统,测量系统设有相通的测量输入口和测量输出口,在所述滑块处于测量工位时,所述测量输入口连通导气组件,所述测量输出口用于向压力芯片的第一侧提供测量压力;吹扫系统设有相通的吹扫输入口和吹扫输出口,所述吹扫输入口用于输入吹扫气体,在所述滑块处于吹扫工位时,所述吹扫输出口连通导气组件,通过吹扫气体吹扫导气组件的内部。上述64通道压力扫描阀用滑块,通过集成吹扫系统,有效解决了多通道压力扫描阀中气路不畅的问题,提高了测量的准确性和系统的稳定性。
技术关键词
输出口 导气组件 吹扫系统 滑块 工位 校准压力 校准系统 芯片 间距 气体 多通道