一种倒装银镜发光二极管芯片及其制备方法

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一种倒装银镜发光二极管芯片及其制备方法
申请号:CN202510848080
申请日期:2025-06-24
公开号:CN120730893A
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种倒装银镜发光二极管芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域倒装银镜发光二极管芯片包括衬底、外延层、电流扩展层、布拉格反射层、金属反射层、第一绝缘层、P型金属导电层和N型金属导电层;外延层包括N型半导体层、有源发光层和P型半导体层;布拉格反射层设有布拉格反射层P型通孔,第一绝缘层设有第一绝缘层P型通孔,第一绝缘层P型通孔的孔壁和水平面之间的夹角β小于布拉格反射层P型通孔的孔壁与水平面之间的夹角α;第一绝缘层P型通孔的投影边缘与布拉格反射层P型通孔的投影边缘之间的距离L为5μm~12μm。本发明通过对倒装银镜发光二极管芯片的结构进行改进,能够提升倒装银镜发光二极管芯片抗击大电流的能力。
技术关键词
布拉格反射层 发光二极管芯片 电流阻挡层 金属反射层 金属导电层 银镜 通孔 半导体层 电流扩展层 光刻胶 有源发光层 衬底 表面涂布 层叠 外延 氢氟酸