硅片运输装置及硅片运输方法、存储介质

本公开提供一种硅片运输装置及硅片运输方法、存储介质，硅片运输装置包括：机械臂单元，包括至少两个机械臂；间距调整单元，驱动机械臂沿第一方向移动，以改变至少两个机械臂在第一方向上的间距；获取单元，用于获取片盒的当前硅片位置信息及机械臂单元的当前机械臂位置信息；控制单元，用于根据当前硅片位置信息及预设的目标硅片位置信息，确定各个机械臂在第一方向上的移动路径信息；基于当前机械臂位置信息及移动路径信息，控制间距调整单元调整至少两个机械臂的间距，当各机械臂处于目标位置时，控制各机械臂执行相应的硅片取放动作。本公开可实现跨层、实现跨层、非连续层级的快速准确取放，减少不必要的操作次数，提升整体作业效率与精度。