一种金属抗蚀清洗剂、制备方法与应用

本发明涉及一种金属抗蚀清洗剂、制备方法与应用，其中金属抗蚀清洗剂，按照重量份计算包括如下组分：复合功能剂0.001‑0.06份；pH调节剂0.1‑3份；无机酸0.01‑1份；有机溶剂50‑80份；超纯水20‑50份。本发明采用噻吩基羧酸酯衍生物和烷醇类衍生物的组合，噻吩基羧酸酯衍生物凭借酯基的强螯合能力，靶向清除金属离子（如Cu²+、Fe³+），并通过π‑π作用剥离有机污染物；烷醇类衍生物则利用长链疏水端包裹非极性残胶，亲水端增强溶液润湿性，实现纳米级结构的全覆盖清洗。