一种晶圆盒装出货检测设备、方法及应用

本发明公开了一种晶圆盒装出货检测设备、方法及应用。所述设备包括：定位模块、反射模块、图像获取模块和图像处理模块；反射模块包括长条形反射镜以及多个定位标记，长条形反射镜的长度方向与晶圆的轴向平行，定位标记与晶圆的容置位置一一对应；图像获取模块至少拍摄晶圆在反射镜中的反射像以及定位标记形成检验图像；图像处理模块中包含图像识别模型，用于基于识别晶圆所处的实际容置位置与目标容置位置是否匹配。本发明利用镜面反射成像来得到晶圆在晶圆盒中放置的检验图像，避免灯光直射引起的杂散干扰，同时利用反射面上设置的定位标记辅助图像识别模型来进行晶圆图形的识别，显著提高识别速度和准确性。