一种大功率倒装LED芯片及其制备方法

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一种大功率倒装LED芯片及其制备方法
申请号:CN202510860618
申请日期:2025-06-25
公开号:CN120711903A
公开日期:2025-09-26
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种大功率倒装LED芯片及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括衬底、外延层、第一钝化层、反射金属层、第二钝化层和焊盘金属层,外延层包括N‑GaN层、MQW量子阱层和P‑GaN层,焊盘金属层包括P电极焊盘和N电极焊盘;外延层的中部区域和切割道区域成型有主沟槽;第一钝化层和第二钝化层均沿着主沟槽表面延伸;反射金属层避开主沟槽;第一钝化层嵌设有第一金属连接结构,且与N‑GaN层相接;N电极焊盘连接第一金属连接结构;第一钝化层嵌设有第二金属连接结构,其一侧连接P‑GaN层,另一侧连接反射金属层;P电极焊盘连接反射金属层。本发明提供的芯片,膜层少、结构简单,有效降低了芯片的制造成本。
技术关键词
大功率倒装LED芯片 金属连接结构 GaN层 反射金属层 光刻胶薄膜 N电极焊盘 导电沟槽 隔离沟槽 外延 感应耦合等离子体刻蚀 沟槽表面 掩膜 电子 衬底 层叠 叠层