一种多芯片扇出封装结构及封装方法

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一种多芯片扇出封装结构及封装方法
申请号:CN202510860978
申请日期:2025-06-25
公开号:CN120657033A
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,具体地说是一种多芯片扇出封装结构及封装方法。包括第一重布线层,所述的第一重布线层一侧表面分别设有第一UBM层、导电结构,第一UBM层电连接硅桥芯片,导电结构另一端设有第二重布线层,第一重新布线层另一侧表面设有BCB层,BCB层一侧设有芯片,芯片外侧设有干膜。同现有技术相比,利用BCB的粘性,先进行多芯片的固定,通过干膜压膜以防后续塑封时对芯片产生偏移。并且,通过硅桥芯片的热压键合,实现高密度的I/O互联。
技术关键词
导电结构 封装方法 布线 剥离层 芯片封装技术 干膜 热压焊 多芯片 载板 锡球 高密度 压模 涂覆 标记