一种桥式悬浮膜红外光源芯片及其制备方法、红外光源及其组装方法

本发明公开了一种桥式悬浮膜红外光源芯片及其制备方法、红外光源及其组装方法，涉及红外光源设计技术领域，旨在解决现有技术中红外光源的光源材料电学性质易发生变化的问题，其包括衬底，衬底上方从下到上依次设有浓硼扩散单晶硅层和第一氧化层，第一氧化层上方中部设有多晶硅发光薄膜；多晶硅发光薄膜由从下到上依次设置的浓硼离子注入多晶硅层和隔离氧化硅层组成，隔离氧化硅层的两端均设有电极；衬底中部设有空腔结构，通过所述空腔结构使得多晶硅发光薄膜和电极悬浮于上方，形成桥式悬浮膜结构。本发明的红外光源具有高耐温性、抗氧化性、可靠性高、寿命长、光电效率高、红外辐射温度、发射率高、可调制等优点。