用于微纳米机器人的多声场协同控制装置及其制备方法

本发明公开了一种用于微纳米机器人的多声场协同控制装置及其制备方法，涉及微纳米机器人超声控制技术领域；用于微纳米机器人的多声场协同控制装置包括压电陶瓷圆环、基底和多个信号源；压电陶瓷圆环的一侧与基底连接固定，且压电陶瓷圆环的内环侧与基底的表面围成用于装载微纳米机器人的腔体；压电陶瓷圆环沿周向分割形成多个呈扇环形的阵元，多个所述阵元远离所述基底的一侧分别通过正极引线与多个所述信号源一一对应连接形成多个超声激励源，多个所述阵元靠近所述基底的一侧一体连接且设置有共地电极层。本发明能够满足多声场对微纳米机器人的协同控制，将声波能量更好的向声场中心聚集，并给微纳米机器人提供更强的动力。