摘要
本发明涉及半导体光电器件技术领域,具体为一种单芯RGB白光LED芯片及其制作方法,包括:蓝宝石衬底;依次层叠于衬底上的n‑GaN层、绿光量子阱层、蓝光量子阱层、p‑GaN层;覆盖p‑GaN层的ITO透明导电层;设于ITO层上的SiO2键合层,其表面粗化,Ra>500nm;通过键合层集成的红光外延结构,包含n‑AlGaInP层、红光量子阱层及p‑AlGaInP层,并腐蚀为岛状结构;贯穿红光外延结构的电极通孔,暴露ITO层及n‑GaN层;分别连接ITO层的P电极和n‑GaN层的N电极。本发明免荧光粉设计消除色漂移,提高白光稳定性,单芯片集成RGB三色,简化封装工艺。