包含柔性基底材料的触觉温度协同传感器及其制备方法

本发明公开了一种包含柔性基底材料的触觉温度协同传感器及其制备方法。传感器包括柔性基底、阵列化触觉传感单元和多层异质结构温敏层，多层异质结构温敏层由压敏材料层、热敏材料层和导电材料层等异质材料交替堆叠而成，可实现温度与压力的协同感知。通过合理设计各层材料特性及界面结构，提升了传感器对多种物理量的响应性能。同时，还公开了相应的制备工艺，采用分子束外延、化学气相沉积等微纳加工技术，确保多层结构的精确构建。本发明在机器人触觉感知、智能穿戴设备等领域具有广泛应用前景。