充电式半导体晶圆天井智能搬送系统的能量管理与自适应定位方法

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充电式半导体晶圆天井智能搬送系统的能量管理与自适应定位方法
申请号:CN202510872509
申请日期:2025-06-26
公开号:CN120871765A
公开日期:2025-10-31
类型:发明专利
摘要
本发明涉及智能搬送技术领域,具体为充电式半导体晶圆天井智能搬送系统的能量管理与自适应定位方法,包括以下步骤:通过内置电压传感器获取电量百分比,时序对齐输出功率并归一化生成供能标签,卡尔曼滤波处理位姿速率生成定位异常标记,计算欧氏变化率并动态阈值生成轨迹置信度,计算站点激活阈值并生成充电优先级,路径匹配生成定位补偿指令。本发明中,通过动态规整功率波动,融合供能标签与卡尔曼滤波修正偏移,欧氏距离变化生成匹配置信度,归一化比值关联优先级与路径,动态规划匹配轨道拓扑,协同优化能量与定位,抑制干扰与冲突,降低编码器误差,规避空载等待与漂移,提升供能连续性与抗扰能力。
技术关键词
搬送系统 半导体晶圆 能量管理 定位方法 天井 动态时间规整算法 移动平均算法 磁栅编码器 卡尔曼滤波算法 生成轨迹 速率 电压传感器 代表 动态路径规划算法 功率 卡尔曼滤波修正 坐标点 序列