摘要
本发明公开了一种具有高散热性能的板级封装方法及其产品,板级封装方法包括以下步骤:将铜板与基板键合在一起;将铜板刻蚀出凹槽及芯片贴装对位Mark;将若干芯片背面贴装在铜板上;将芯片和铜板进行塑封;在芯片表面开孔;制作芯片互联的再分布结构;将上述所得结构与基板分离,裸露出铜板;刻蚀裸露出的铜板;对裸露出的铜板做抛光防氧化处理;将上述所得结构切割为单个封装单元。本发明将铜板贴在芯片背面,从而有效降低芯片散热的界面热阻,芯片不被封装材料完全包覆,散热通道打开,从而提高芯片的散热效率,提高芯片在高负荷运转下的性能稳定性及可靠性表现,同时芯片及铜板被封装材料包覆,有效提高封装结构的稳定性。