化学机械研磨工艺模型测试图形结构及建模方法

本发明提供一种化学机械研磨工艺模型测试图形结构及建模方法，化学机械研磨工艺模型测试图形结构包括单一测试图形单元，单一测试图形单元包括一测试图形，测试图形具有预定线宽和预定间距；梯度差异测试图形单元，包括至少两个梯度差异测试图形组，每个梯度差异测试图形组中均具有多个测试图形，不同梯度差异测试图形组中的测试图形的线宽和/或密度不同；面积差异测试图形单元，包括至少两个面积差异测试图形组，每个面积差异测试图形组的面积不同，每个面积差异测试图形组中均具有多个测试图形，每个面积差异测试图形组中的测试图形的线宽和间距均相同。如此，提高了化学机械研磨工艺模型的预测准确性。