一种芯片装片机

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一种芯片装片机
申请号:CN202510892886
申请日期:2025-06-30
公开号:CN120674379A
公开日期:2025-09-19
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体器件技术领域,尤其是指一种芯片装片机,包括装片机主体,所述装片机主体的上方转动设置有承载盘,所述承载盘的上端面放置有呈圆周阵列设计的基板,所述装片机主体的上方转动设置有送料盘,所述送料盘的上端面设置有多组DAF芯片膜,所述装片机主体的上方转动设置有L型支架,所述L型支架的底端安装有电动伸缩柱,所述电动伸缩柱的伸缩端安装有真空吸盘;使得基板和真空吸盘位于同一竖直面上,从而方便DAF芯片膜完全压入基板内部,避免现有技术中可能存在DAF芯片膜与基板偏斜导致两者难以结合的问题,而且在承载盘的转动下,能持续性对基板和DAF芯片膜进行装片,操作较为方便快捷。
技术关键词
芯片装片机 DAF芯片 L型支架 真空吸盘 基板 触点 半导体器件技术 送料盘 承载盘 伸缩柱 框架 外周面 电加热板 传动辊 圆盘 阵列