碳化硅研磨工艺参数优化方法及装置

本申请提供的一种碳化硅研磨工艺参数优化方法及装置，包括：对碳化硅研磨工艺原始参数进行预处理，得到研磨工艺参数，按照预设的维度分类规则，将预处理后的研磨工艺参数进行划分，得到多维度数据，响应于用户的目标工艺参数，判断数据库中是否存在与目标工艺参数匹配的历史工艺方案，若是，则按照用户设定的优先级目标，从匹配的历史工艺方案中提取目标工艺方案，并将对应的工艺参数作为最优参数组合，若否，则基于NSGA‑II遗传算法，对多维度数据进行参数组合，得到最优参数组合。根据目标工艺参数，通过预设的匹配机制或NSGA‑II遗传算法，对按照预设的维度分类规则划分得到的多维度数据进行参数组合，实现对碳化硅研磨工艺参数进行优化。