一种半导体芯片缺陷检测系统

本发明属于半导体芯片检测技术领域，提出一种半导体芯片缺陷检测系统，至少包括图像采集模块，用以采集半导体芯片生产过程中的芯片图像数据；主控模块，作为核心控制单元，包括数据处理单元以及数据分析单元，所述数据处理单元与图像采集模块连接，用以接收所述图像采集模块传输的芯片图像数据，并对其进行预处理；所述数据分析单元与所述数据处理单元连接，用以接收所述数据处理单元传输的预处理后的芯片图像数据，并对芯片图像数据进行缺陷类型分类。本发明采用传统模型与智能算法相结合的方式进行缺陷分类识别，避免传统人工检测效率低、漏检率高的问题，加强整体数据监测的完整性、准确性，同时提升了微小缺陷的识别精度以及高效性。