一种分子泵全速域运行控制方法、设备和介质

本发明公开了一种分子泵全速域运行控制方法、设备和介质，涉及分子泵运行控制领域，其技术方案要点是：接收到控制指令，并判断控制指令是启动指令还是停机指令；当控制指令为启动指令时，获取分子泵的当前转速，根据当前转速与第一转速条件的大小关系，执行快速降速算法、滑模观测算法和电流频率控制算法，以使分子泵运行至额定转速；其中，第一转速条件包括目标转速、低临界转速和转速为零三种条件；当控制指令为停机指令时，获取分子泵的当前转速，根据当前转速与第二转速条件的大小关系，执行快速降速算法和滑模观测算法，以使分子泵的转速降为零；其中，所述第二转速条件包括停机前预设的转速、低临界转速和转速为零三种条件。