双波长飞秒激光直写微型化前驱体陶瓷高温薄膜传感器

双波长飞秒激光直写微型化前驱体陶瓷高温薄膜传感器，涉及高温薄膜传感器制造技术领域。采用如刮涂、直写等增材制造工艺将前驱体功能浆料逐层沉积于基底表面，经热解形成非晶态陶瓷多层薄膜；基于双波长飞秒激光微纳加工平台，包含1035nm/343nm双光源、光路传输系统与运动平台，利用飞秒激光超短脉冲与高峰值功率密度的特点，实现前驱体陶瓷薄膜的亚微米级精度图形化加工，使高温薄膜传感器单元面积从传统工艺的平方毫米级缩小至平方微米级。方法兼具双波长激光协同加工、多层薄膜兼容性等优势，克服传统增材制造前驱体陶瓷薄膜传感器尺寸大与成型精度差的劣势，为极端环境服役部件微型传感器阵列的集成化制造提供新范式。