一种基于公差数字孪生的PSF仿真系统和方法

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一种基于公差数字孪生的PSF仿真系统和方法
申请号:CN202510916917
申请日期:2025-07-03
公开号:CN120850547A
公开日期:2025-10-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种基于公差数字孪生的PSF仿真系统和方法,以衍射理论为基础,构建基于惠更斯‑菲涅尔原理的全系统光学传递模型,避免传统几何光线追迹对高阶像差与衍射项的简化处理;随后引入系统误差参数作为数字孪生建模变量,使得仿真模型与实际光学系统参数一一对应,且具有表征误差范围的能力,克服了现有方法中PSF模型脱离光学系统真实结构、无法覆盖系统真实误差来源的局限,可实现对特定光学系统的高保真PSF建模,并可应用于高精度成像仿真与调试验证中。
技术关键词
模拟光学系统 系统误差 误差参数 仿真方法 公差 仿真系统 光学传递模型 样本 光学系统参数 组合模块 数字孪生建模 采样模块 光学元件 点扩散函数 覆盖系统 误差来源