一种基于多通道C扫描的晶圆检测⽅法及系统

本发明提供了一种基于多通道C扫描的晶圆检测方法及系统，旨在解决传统系统中多通道灵敏度差异、Z轴高度偏差及拼接伪影等问题。检测前选取标准片最大缺陷点与无缺陷点，调节各通道增益至统一幅值并记录回波幅度，实现灵敏度校准；检测中利用激光位移传感器实时采集晶圆表面高度数据，结合ARIMA+Kalman滤波或高斯过程回归算法建模，通过PID反馈动态调节Z轴聚焦距离，补偿表面翘曲导致的信号衰减；图像拼接时，采用线性自适应、Gamma自适应（基准γ设定后自动对齐通道均值）及手动设定三种灰度映射方式优化通道响应，基于二维互相关函数计算亚像素级偏移量实现坐标对齐，并在通道交界处设置5%重叠区域，通过线性渐变权重加权平均完成灰度过渡。