一种芯片压力烧结炉

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一种芯片压力烧结炉
申请号:CN202510940244
申请日期:2025-07-09
公开号:CN120926754A
公开日期:2025-11-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片加工设备技术领域,提供一种芯片压力烧结炉,包括液压组件、升降机构、治具框、下腔体组件和上腔体组件;所述下腔体组件设置在所述液压组件的底板上,所述上腔体组件设置在所述液压组件的中板上,所述上腔体组件和所述下腔体组件形成真空腔体,所述升降机构设置在所述下腔体组件的下方,所述治具框设置在所述下压头上并且设置在所述升降机构上部,所述升降机构对所述治具框升降。
技术关键词
腔体组件 压力烧结炉 液压组件 冷却板组件 升降机构 立柱头 升降立柱 芯片 升降驱动机构 真空腔体 位移传感器 上板 框架 导向柱 抽真空机构 压力传感器 限位机构 液压缸