基于双路径编码器的VCSEL芯片内部缺陷检测方法

本发明涉及VCSEL芯片缺陷识别领域，具体为基于双路径编码器的VCSEL芯片内部缺陷检测方法，该方法基于缺陷检测网络VEASNet，该网络包括双路径编码器、解码器；双路径编码器包括深度特征提取残差模块DFER和多尺度特征提取融合模块MFEF，分别用于提取缺陷的深层语义信息和空间信息，采集的信息经过特征融合注意力模块FFA进行融合以学习不同路径编码器所提取的信息；特征融合注意力模块FFA输出的特征图通过跳跃连接输入到解码器，解码器输出分割图像，分割图像显示出是否存在缺陷。本发明能够在对比度较差、纹理弱的中等挑战下对发光图像中的发光区域准确自动提取，大大降低了人力成本的同时，提升了检测效率。