一种晶圆盒盖模具用清洗装置

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一种晶圆盒盖模具用清洗装置
申请号:CN202510952033
申请日期:2025-07-10
公开号:CN120620558A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本发明涉及清洗装置技术领域,尤其涉及一种晶圆盒盖模具用清洗装置,包括安装座、导向柱、第一双向气缸、上模与下模型腔,所述安装座下端对称开设有向下倾斜的排出口,所述安装座下端开设有安装腔,所述安装腔中固定安装有电机,所述电机输出端固定连接有位于所述安装腔中的第二双向气缸,所述第二双向气缸输出端固定连接有顶出杆,所述顶出杆顶端安装有压力传感区。本发明通过在顶出杆上设置压力传感区,实时检测每次顶出操作时所承受的压力,基于检测到的压力变化,生成清洗触发信号并执行清洗作业,以避免成型残留物累积过多并迁移至成型制品表面,从而提高成型制品的良品率。
技术关键词
盒盖模具 双向气缸 安装座 晶圆 电磁铁 下模型腔 楔形块 排水口 密封板 成型制品 刮板 三角形结构 滑动套装 受力 矩形 推杆 倾斜坡面 传感 导向柱 输出端