一种异构芯片三维堆叠的液冷通道同步成型设备

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一种异构芯片三维堆叠的液冷通道同步成型设备
申请号:CN202510954172
申请日期:2025-07-11
公开号:CN120767221A
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片制作技术领域,具体为一种异构芯片三维堆叠的液冷通道同步成型设备,包括第一电动推杆,其特征在于:所述第一电动推杆的活塞杆底端固定安装有一组矩形框架。可转动加热组件则负责对横向部分槽进行热塑形,这种分工明确的设计能够根据不同方向槽的特点,更精准地控制加热位置和热量分布,从而提高热塑形的精度,确保异构芯片上的槽能够达到设计要求的形状和尺寸,对于一些复杂的异构芯片结构,可以先利用底部加热组件对竖直方向槽进行初步塑形,然后再通过可转动加热组件对横向部分槽进行精细塑形,或者反之。这种灵活性有助于优化热塑形工艺,满足不同类型异构芯片的生产需求,提高生产效率和产品的一致性。
技术关键词
成型设备 加热组件 异构 辅助安装板 矩形方管 芯片制作技术 安装底座 通道 推杆 辅助安装架 框架 活塞杆 芯片结构 槽体 卡扣 推力 传动板 防护垫