一种电主轴的热位移补偿装置、数控机床及其补偿方法

本发明公开了一种电主轴的热位移补偿装置、数控机床及其补偿方法，该装置包括：电涡流位移传感器和补偿系统；电涡流位移传感器含探头与后级处理电路，探头有第一线圈、第二线圈、多通道芯片，第一线圈连多通道芯片第一路电感输入通道以输出第一数字信号，第二线圈连第二路电感输入通道以输出第二数字信号；后级处理电路将第一数字信号转为第一电压信号和脉冲信号、第二数字信号转为第二电压信号；补偿系统根据第二电压信号对第一电压信号进行温度漂移补偿，并利用脉冲信号和补偿后的第一电压信号对电主轴进行轴向补偿。该方案，不仅提高了电主轴位移测量的精度，还保障了主轴热位移补偿效果。