摘要
本发明公开了一种用于真空线性规的非线性真空控制电路及控制方法,通过非线性转换电路将真空线性规的线性信号转换为非线性信号,使气压微小变化能够产生更显著的输出变化,从而减少反馈波动;同时,偏置电路为非线性转换电路提供偏置并进行调参,进一步优化非线性转换效果,增强对微小气压变化的响应能力,解决了全量程气压下微小变化难以产生明显输出变化的问题;DAC放大电路驱动DAC芯片产生模拟信号并进行线性放大,为PID运算电路提供足够电压,避免软件PID反馈受ADC采样噪声干扰,使硬件PID能够更容易地控制低电位,从而实现高精度气压控制。