一种基于纳米增材制造的微小缝隙测量方法及装置

本发明公开了一种基于纳米增材制造的微小缝隙测量方法及装置，属于微纳尺度测量领域。该方法通过在基底材料上的微小间隙内电化学增材制造形成间隙反模；利用反模材料与基底材料的热膨胀系数差异，通过热循环实现非破坏性脱模；采用聚焦离子束对脱模后的反模进行序列切片并对暴露表面成像，获取一系列二维图像；最后基于该二维图像序列三维重构间隙的几何形貌。本发明可实现对埋藏的、具有复杂三维形貌或高深宽比的微小间隙进行高分辨率、三维定量、低损伤测量，适用于多种基底材料体系。其非接触式反模复制策略尤适合传统测量方法难以应用或样品易损的间隙结构，兼具科研通用性与产业化推广价值，可广泛应用于半导体、微机电系统、材料科学、封装、纳米电子、柔性电子、生物芯片、能源器件、微流控、生物组织界面及航空航天复合材料等结构分析场景，具备显著的跨学科适应性。