芯片及其镀膜方法、电子设备
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芯片及其镀膜方法、电子设备
申请号:
CN202510973736
申请日期:
2025-07-15
公开号:
CN120857680A
公开日期:
2025-10-28
类型:
发明专利
摘要
本发明提供了一种芯片及其镀膜方法、电子设备,属于半导体领域。该芯片镀膜方法包括提供一芯片,所述芯片的表面具有阻挡层;湿法腐蚀去除所述阻挡层;采用干法刻蚀对去除阻挡层之后的芯片表面进行刻蚀;将干法刻蚀处理之后的芯片采用低温退火处理;对芯片进行镀膜处理。本发明通过湿法腐蚀去除阻挡层之后,采用干法刻蚀去除芯片表面的氧化膜与残胶组合层,之后采用低温退火工艺对芯片的损伤进行修复,能够去除芯片与镀膜之间残留的氧化膜和胶膜,避免镀膜后在镀膜与芯片之间存在结合缺陷,提高芯片性能的可靠性。
技术关键词
镀膜方法
芯片
阻挡层
低温退火工艺
刻蚀工艺
电子设备
离子
硫化锌
胶膜
半导体
气体
射频
盐酸
速率
功率
压力