基于二次谐波的晶圆检测方法及系统

本发明涉及一种基于二次谐波的晶圆检测方法及系统，其中，方法包括：获取待测样品中的预选测点处的实测二次谐波检测信号集，实测二次谐波检测信号集包括：预选测点被来自不同方位角的光源照射后、受激发所产生的多个二次谐波检测信号；基于预设的拟合算法对实测二次谐波检测信号集中的多个二次谐波检测信号进行拟合处理，获取晶格特性检测曲线数据；根据获取到的晶格特性检测曲线数据，以确定预选测点处的晶圆的状态。由于相关操作均是基于二次谐波检测信号执行的，其具备信号采集速度快的特点，其可满足更快速检测的要求、实现在线检测。采用本发明的基于二次谐波的晶圆检测方法及系统具备检测效率高、响应速度快，性能良好、适应性佳的特点。