一种基于AI视觉的晶圆外观缺陷检测设备

本公开实施例提供了一种基于AI视觉的晶圆外观缺陷检测设备，包括：图像采集系统，用于对晶圆进行图像采集，包括线扫相机和特定光源，其中所述线扫相机的镜头水平安装，并且包括棱镜用于将光路进行90°调整；AI处理单元，用于接收所述图像采集系统采集的图像；控制单元；显示单元，用于实时显示检测结果和缺陷图像；伺服机构，用于带动晶圆移动；编码器，用于将伺服机构的运动信号提供给所述线扫相机，以控制相机成像。通过本公开实施例的方案，能够高效且准确地检测晶圆上的微小外观缺陷如划痕、裂纹、污渍和颗粒，同时避免人为因素导致的检测效率低和可靠性不足问题。