电子束量测设备的物镜对准方法与电子束量测设备

本发明提供了一种电子束量测设备的物镜对准方法与电子束量测设备。其中电子束量测设备的物镜对准方法包括：在预设的各偏转线圈的电流情况下，在物镜的起始电流值的基础上添加周期振荡电流以获取电子束所生成的图像的实际图像偏移量；根据预设的各偏转线圈的电流和实际图像偏移量基于预设的物理模型得到各偏转线圈的电流值最优解；以及在各偏转线圈为电流值最优解的情况下，在物镜的起始电流值的基础上添加周期振荡电流并计算得到此时的实际图像振幅，根据实际图像振幅确认物镜的对准状态。本发明的方案，通过预设的物理模型反解电流值最优解，降低算法运行的复杂度，在兼顾算法运行效率的基础上保证了计算的稳定性。