一种基于数据分析的薄膜加工管理方法及系统

本发明公开了一种基于数据分析的薄膜加工管理方法及系统，其包括：对薄膜的表面图像进行分析，确定薄膜的表面缺陷区域及对应的缺陷图像特征，并基于其对各表面缺陷区域的缺陷程度进行分析和评估，得到子缺陷程度评估值；对薄膜的表面缺陷区域进行分析，确定薄膜的缺陷系数；基于各表面缺陷区域的子缺陷程度评估值确定薄膜的缺陷程度评估值，并基于其和缺陷系数确定薄膜的缺陷程度值；对历史生产数据进行分析，确定影响薄膜表面缺陷区域的关键生工艺参数；基于缺陷程度值确定薄膜加工的优化系数，对薄膜加工的关键生工艺参数进行优化调节管理。本发明可以实现对薄膜加工过程的精细化管理，能够提高产品质量和生产效率，同时降低生产成本。