一种基于光学特性和莫尔条纹的微小位移测量方法及系统

本发明公开一种基于光学特性和莫尔条纹的微小位移测量方法及系统，属于测量技术领域，包括：基于两块光栅建立几何模型并进行推导，得到莫尔条纹间距和光栅常数的放大性公式；基于莫尔条纹间距和光栅常数的放大性公式，采用频率矢量法得到莫尔条纹位移量和光栅位移量的同步性公式；基于两个公式，推导得到微小位移测量公式；所述微小位移测量公式为，x为光栅实际位移量，为莫尔条纹移动的个数，d为光栅常数；将实时采集的莫尔条纹图像进行数据处理，得到莫尔条纹移动的个数，代入所述微小位移测量公式，得到光栅的微小位移。本发明通过莫尔条纹间距和光栅常数的放大性公式和同步性公式进行微小位移测量，使测量更加精准可靠。