半导体聚合物复合海绵、多模式触觉传感器及其制备方法

本申请提出了半导体聚合物复合海绵、多模式触觉传感器及其制备方法，其中以半导体聚合物复合海绵作为敏感层制备多模式触觉传感器，多模式触觉传感器包括从上至下依次设置的第一封装层、第一电极层、垫片、第二电极层和第二封装层；其中垫片中部开设放置孔，所述的复合海绵制成的敏感层设置在所述放置孔内。本申请的多模式触觉传感器集成了压力‑温度‑材料识别，本申请通过压力识别、温度识别和材料识别设计了三种不同机理，实现对压力、温度和材料识别的协同感知，压力信号、温度信号和材料信号由于机理上有显著差异，避免了信号干扰和交叉响应，最终实现了更高灵敏度、更低成本、更高集成度的多模触觉传感器。