一种幅值自稳定的静电驱动MEMS微镜芯片

一种幅值自稳定的静电驱动MEMS微镜芯片，包括外框，连接在外框上能够转动的反射镜，外框上设置的至少一只可调电容，与可调电容串联的至少一组驱动电容组，设置在反射镜边缘的至少一个波导，以及一对或者两对将外框与反射镜连接的转轴；通过驱动电容组及其他部件的配合，实现了反射镜的位移感知和控制信号的自适应调节功能，芯片外的驱动电路仅需要输入固定的电压信号，即可实现反射镜的闭环反馈控制，具有集成度高、结构紧凑，对驱动电路要求低的特点，适用于高集成度紧凑型设备。