一种迈克尔逊干涉装置及控制方法

本发明公开了一种迈克尔逊干涉装置及控制方法，涉及迈克尔逊干涉仪技术领域。装置包括干涉单元、探测单元、第一反馈单元、第二反馈单元及控制单元，其中，第一反馈单元采用绝对式光栅尺实时测定干涉单元内部动镜的位置信息，第二反馈单元采用增量式光栅尺输出采样时钟信号以及干涉单元内部动镜的速度信息。本发明通过引入第一反馈单元和第二反馈单元，可以实时测定干涉单元内部动镜的实际位置和速度信息，提升了动镜的控制效果，同时，光栅尺的使用也提高了迈克尔逊干涉装置的环境适应性。