一种基于机器视觉的点蚀尺寸测量方法与装置

本发明公开了一种基于机器视觉的点蚀尺寸测量方法与装置，方法包括：通过所述的基于机器视觉的点蚀尺寸测量装置，获取微米级待测点蚀对应的点云数据；采用高斯滤波算法对获取的点云数据进行滤波降噪；对滤波降噪后的点云数据进行分割，将点蚀区域的点云数据和非点蚀区域的点云数据进行区分；对分割后的点蚀边界进行拟合，近似点蚀边界，得到点蚀直径；对点蚀区域的点云数据和非点蚀区域的点云数据进行拟合，得到拟合结果；根据拟合结果，计算点蚀区域拟合面到非点蚀区域拟合面的最大距离，得到点蚀的深度。本发明结合高斯滤波算法对所述点蚀立体形貌点云数据进行处理，剔除整体点云数据中的奇异点和离散点，获得更加平滑的处理后点云数据，使得本发明对点蚀尺寸测量具有更高的精度，误差值更小。