基于平面电极和探针扫描的界面电阻率测试方法

本发明属于半导体技术和热电测量领域，具体涉及一种基于平面电极和探针扫描的界面电阻率测试方法，包括以下步骤：制备平面电极样品，所述样品包括基体及位于其上表面的两个平行电极；采用两根电压探针接触样品表面，其中一根探针固定于一侧电极，另一根探针沿样品表面从该侧电极向对侧电极动态扫描；通入恒定电流，采集滑动探针在扫描过程中的电势数据，获得电压‑位移关系图，其中，所述电流从平面电极一端流入，从另一端流出；根据所述电压‑位移关系图，结合界面电阻率计算公式得到界面电阻率。本发明操作便捷、适用场景广泛。