一种快速直接合成磷化铟的方法及装置
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一种快速直接合成磷化铟的方法及装置
申请号:
CN202511025705
申请日期:
2025-07-24
公开号:
CN120866939A
公开日期:
2025-10-31
类型:
发明专利
摘要
本发明提供一种快速直接合成磷化铟的方法及装置,涉及磷化铟合成技术领域,一种快速直接合成磷化铟的装置,包括用于第一高纯度铟放置和第一固体氧化硼放置的主坩埚;设置在主坩埚内,用于第二固体氧化硼放置熔化的导流破碎筒;设置在主坩埚外侧,用于第二高纯度铟放置的辅助坩埚,且辅助坩埚与导流破碎筒活动贯通;设置在主坩埚外侧,用于红磷棒材夹持的夹具;设置在主坩埚外侧,用于籽晶固体移动的机械臂,有效的提高了磷化铟多晶的制备效率,使其在制备时更加的方便快捷。
技术关键词
坩埚
高纯铟
氧化硼
导流
磷化铟多晶
籽晶
红磷
辅助加热器
熔体
固体
加热丝
加热体
丝杠
移动机械臂
夹具
电机
功率