一种高效垂直耦合大角度PLC光分路芯片及制备方法

本发明属于集成光子器件技术领域，公开了一种高效垂直耦合大角度PLC光分路芯片及制备方法。本发明包括石英基底层、芯区层和包层；包层位于石英基底层上，芯区层位于石英基底层和包层之间，包层的上表面刻蚀有微透镜；PLC光分路芯片的输出波导处设置有全反射角，当光束在芯区层内沿水平方向传输至输出波导处时，经设置在输出波导处的全反射角反射后，在竖直方向上与微透镜的中心位置相对应。本发明提出的PLC光分路芯片在全反射光路的包层表面利用半导体工艺加工出一个微透镜，该微透镜可以实现光束在垂直方向上的聚焦，减小光束尺寸，使得大部分光束能量能够被探测器的光敏面接收到，从而提高耦合效率。