基于图像分割的晶圆生产方法及系统

本发明提供了一种基于图像分割的晶圆生产方法及系统，涉及晶圆生产技术领域，本发明通过图像分割构建多区域时空热响应矩阵，并结合热扩散方程自动确定最优温度扰动量，实现热扩散异常区域的精准标记；随后对标记区域施加多波长测量光并动态校正光强，增强不同深度与形貌缺陷的识别灵敏度；引入微振动与光响应数据，利用预训练缺陷预测模型提取多模态特征，生成初步缺陷指标；最终采用偏振结构光的偏振度与相位迟延进行乘法修正，既能放大真实缺陷信号，亦能抑制噪声干扰，显著提升检测准确性、区分度与鲁棒性，提高晶圆的生产质量。