摘要
本发明公开了一种自由曲面成像像差传播计算及像差控制方法。该方法在给定系统光路的基础上,计算各光学曲面的物面、像面、入瞳和出瞳,并计算中心视场在各入瞳和出瞳处的参考波面。采样系统入瞳和视场生成一组特征光线,计算各视场特征光线从各曲面的入瞳传播到其出瞳相对主光线的光程差,通过拟合全视场光程差得到各曲面像差场;根据当前系统主导像差及各曲面像差场确定各曲面对该主导像差的贡献,由此确定率先优化的曲面;通过优化该曲面与当前主导像差对应的曲面参数来减小该像差,重复该过程直至设计满足要求。该方法可有效指导自由曲面成像系统优化,在保障成像性能的同时减小自由曲面偏离度,有效降低曲面加工和检测难度。