摘要
本申请涉及指纹识别技术领域,本申请提供了一种超音波指纹识别模块及其制作方法,该方法包括:提供素玻璃基板;于基板上形成第一金属导线层,具沿第一方向延伸的多个第一导线及一体成型的第一接点区与第二接点区;于第一金属导线层的部分区域形成压电层,使第一接点区与第二接点区保持裸露;于压电层上形成第二金属导线层,包括沿第二方向延伸且电性连接至第二接点区的多个第二导线;并于第二金属导线层上形成保护层。第一接点区与第二接点区分别用以连接算法芯片与电源控制芯片。本申请可简化结构、降低工艺精度要求,并有助于模块轻薄化与稳定性提升。