基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法及系统

本发明属于光学检测技术领域，尤其涉及基于全局power波像差预测的瑞奇康芒检测方法及系统，该方法首先通过标准球面镜、待测平面镜和干涉仪参数建立三维光学模型，结合预设瑞奇角及离焦/像散系数，利用蒙特卡洛模拟注入振动和温度噪声生成增强训练数据空间；其次基于对抗网络构建相位误差调整模型，通过多尺度注意力机制和径向基函数网络解耦调整误差与波像差畸变的映射关系，实现子孔径相位数据的自适应校正；最终采用图神经网络拼接子孔径相位并融合多角度全口径测量数据，精确重构待测平面镜面形；本发明通过物理约束的对抗训练和动态误差补偿，显著提升了大口径光学元件的检测效率和可靠性。