一种MOCVD设备生长LED外延片的波长预测方法

本发明涉及半导体技术领域，具体公开一种MOCVD设备生长LED外延片的波长预测方法，包括：将预设生长参数输入已训练好的波长预测模型集中，得到MOCVD设备基于预设生长参数生长的LED外延片的预测波长；波长预测模型集包括多个波长预测子模型，波长预测子模型与MOCVD设备的载盘一一对应；其中，波长预测子模型的构建步骤包括：采集在MOCVD设备中目标载盘生长完成的LED外延片的实际数据，形成分组数据集，实际数据包括LED外延片的实际生产参数及实际生产参数对应的实际发光波长；构建全连接神经网络模型，采用分组数据集训练全连接神经网络模型，获得波长预测子模型。本发明的预测方法能够针对不同机台和载盘条件进行对应波长预测，波长预测的精准度更高，同时能够降低LED外延片发光波长的调控难度，增加发光波长调控的一致性和可靠性，在大规模生产中提高外延片的波长命中率。