基于MES的试制批次工艺风险实时监测与参数动态补偿系统

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基于MES的试制批次工艺风险实时监测与参数动态补偿系统
申请号:CN202511070110
申请日期:2025-07-31
公开号:CN121008561A
公开日期:2025-11-25
类型:发明专利
摘要
本发明涉及工业自动化技术领域,公开了基于MES的试制批次工艺风险实时监测与参数动态补偿系统,包括:S101、采集目标设备的运行数据;S102、响应于满足预设触发条件,生成试制批次创建指令并锁定关联母批;S103、根据所述试制批次创建指令创建试制批次,并执行整批直行运行或分批次运行操作;S104、基于时序预测模型分析所述运行数据生成风险等级及补偿建议;S105、根据所述风险等级生成温度、压力、流速的协同补偿系数集合;S106、依据试制批次的量测结果执行闭环验证。本发明中,通过建立初级、中级、高级的三级响应体系,通过图神经网络动态分配试制批次至关联设备组,解决传统单设备验证的局限性。
技术关键词
动态补偿方法 动态补偿系统 时序预测模型 风险 参数 工业自动化技术 强化学习策略 指令 多设备协同 流速 闭环 数据采集单元 可读存储介质 处理器 设备组 晶圆 压力 计算机设备 温湿度