一种基于图像处理的光学薄膜质量检测方法

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一种基于图像处理的光学薄膜质量检测方法
申请号:CN202511072361
申请日期:2025-08-01
公开号:CN120976134A
公开日期:2025-11-18
类型:发明专利
摘要
本发明涉及图像处理技术领域,具体涉及一种基于图像处理的光学薄膜质量检测方法,包括以下步骤:S101、获取动态应力场中的光学薄膜的瞬态光场图像序列;S102、对每个像素点的亮度时间序列进行频谱分析,提取主频分量作为亮度振荡周期,采用傅里叶变换算法处理时域波动数据,基于图像序列中每个像素点的亮度振荡周期,计算局部光程差变化量;S103、将相位畸变场投影至预设的薄膜弹性模量分布模型,建立相位畸变‑应力分布‑缺陷的映射关系,识别模量突变区域。本发明通过机械振动和热辐射协同作用生成动态应力场,能够在微缺陷处产生显著的应力集中,使微缺陷的形变差异被放大,从而提高缺陷检测的灵敏度。
技术关键词
动态应力场 光程 傅里叶变换算法 亮度 像素点 弹性模量梯度 序列 光学薄膜厚度 辐射源 图像配准算法 阈值分割算法 图像特征点 加权平均法 高速摄像机 图像处理技术